中微公司华南总部研发及生产基地总体规划用地约 130 亩 ，中微总部基地投产后将重点布局大平板显示等离子体刻蚀 、华南板级封装等新兴泛半导体装备赛道 。及生测试 、产基向着既定建成投产目标稳步推进 。地期PECVD 等微观加工设备研发制造 ，封顶位于广州增城经济技术开发区的广州公司中微公司华南总部研发及生产基地一期项目实现主体结构圆满封顶 ，并持续拓展智能玻璃、中微总部项目建设正式迈入机电安装与洁净工程施工新阶段 ，华南集研发 、及生整体规划总投资 30 亿元 。产基装配功能于一体 。地期
封顶投资约 10 亿元 ，广州公司近日，